リニアステージ

・グラナイト仕様

・アイアンレスリニアモータで駆動

・クロスローラガイド

・高い絶対精度と繰返し精度

・コギングフリー

・加工対象物マウント用のねじ穴

・インクリメンタル測定システム


駆動方法 アイロンレスリニアモーター
移動分解能 1 nm 
繰返し精度  コントローラによる
移動距離 200-300 mm
最大速さ 300 mm/s
最大加速度 5m/s2

アパーチャー付きグラナイトステージ

駆動方法 アイロンレスリニアモーター
移動分解能 1 nm 
繰返し精度  コントローラによる
移動距離 50-300 mm
最大速さ 300 mm/s
最大加速度 5m/s2