リニアステージ

・グラナイト仕様

・リニアモータで駆動

・同期制御

・高い絶対精度と繰返し精度

・インクリメンタル測定システム


駆動方法 リニアモーター
移動分解能 1 nm 
繰返し精度  コントローラによる
移動距離(X軸) 50-1,500 mm
移動距離(Y軸) 300-3,000 mm
移動距離(Z軸) 100-300 mm
最大速さ 1 m/s
最大加速度 10 m/s2